首頁 > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 基礎(chǔ)科學(xué) > 物理學(xué) > 光學(xué)技術(shù) > 一種線陣CCD融合光柵尺的高精度尺寸測量新方法研究 【正文】
摘要:為了解決數(shù)字圖像亞像素級高精度尺寸檢測問題,采用了基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的線陣相機(jī)鏡頭畸變矯正方法,比傳統(tǒng)的多項式擬合法矯正精度高且操作簡便;提出了將光柵尺融入線陣相機(jī)掃描機(jī)構(gòu)的新方法,利用高精度光柵尺測位移信號觸發(fā)線陣CCD圖像采集動作,精確獲取線陣相機(jī)掃描目標(biāo)的亞像素級圖像。實驗證明,新的測量技術(shù)可在對運動系統(tǒng)要求不高的情況下獲取高精度圖像,圖像檢測精度可以達(dá)到1μm。
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