摘要：為獲取光學平臺多自由度微振動信息,設計了一種基于平面鏡雙頻激光干涉的三自由度動態微振動測量系統。該系統利用激光多普勒效應,采用三個測量軸獲得測量反射鏡的三點位移信息,計算出測量鏡平動、扭轉角、俯仰角信息,實時檢測三自由度的微振動情況,從而為光學系統的微振動補償控制提供基礎。對微振動測量系統進行了不確定度分析,建立了不確定度模型,為進一步提高系統精度提供理論依據,也為系統在校準和計量領域的應用奠定基礎。實驗過程中,采用高精度地震計對待測平臺進行同步測量,與系統平動測量結果進行對比,驗證了系統的測量準確性。該系統的平動分辨率可達到5nm,扭轉角分辨率為5.05μrad,俯仰角分辨率為4.69μrad,具有多自由度、非接觸、高分辨、可溯源的優點。