首頁(yè) > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 基礎(chǔ)科學(xué) > 物理學(xué) > 電子顯微學(xué)報(bào) > 計(jì)量電鏡中納米位移臺(tái)控制方法研究 【正文】
計(jì)量電鏡中納米位移臺(tái)控制方法研究
李雪; 殷伯華; 許廣鹿; 韓立; 劉俊標(biāo) 中國(guó)科學(xué)院電工研究所; 北京100190; 中國(guó)科學(xué)院大學(xué); 北京100049; 生物電磁學(xué)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京100190
- 納米位移臺(tái)
- 定位精度
- 納米步進(jìn)
- dsp控制
- 角度旋轉(zhuǎn)
摘要：針對(duì)計(jì)量型掃描電鏡成像方法的特殊需求,提出了一種新型的納米位移臺(tái)掃描運(yùn)動(dòng)控制方法。利用乘法DA控制方法實(shí)現(xiàn)了納米位移臺(tái)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的整形輸出。利用該模擬信號(hào)實(shí)現(xiàn)了納米位移臺(tái)的掃描范圍的增益控制,掃描圖像的旋轉(zhuǎn)和偏移控制。該控制方法有效地的保持了納米位移臺(tái)的步進(jìn)位移分辨力,克服了傳統(tǒng)納米位移臺(tái)控制系統(tǒng)損失納米步進(jìn)精度的缺點(diǎn)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此位移臺(tái)控制新方法的可行性,位移臺(tái)移動(dòng)方式和理論吻合。
- 納米位移臺(tái)
- 定位精度
- 納米步進(jìn)
- dsp控制
- 角度旋轉(zhuǎn)
摘要：針對(duì)計(jì)量型掃描電鏡成像方法的特殊需求,提出了一種新型的納米位移臺(tái)掃描運(yùn)動(dòng)控制方法。利用乘法DA控制方法實(shí)現(xiàn)了納米位移臺(tái)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的整形輸出。利用該模擬信號(hào)實(shí)現(xiàn)了納米位移臺(tái)的掃描范圍的增益控制,掃描圖像的旋轉(zhuǎn)和偏移控制。該控制方法有效地的保持了納米位移臺(tái)的步進(jìn)位移分辨力,克服了傳統(tǒng)納米位移臺(tái)控制系統(tǒng)損失納米步進(jìn)精度的缺點(diǎn)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此位移臺(tái)控制新方法的可行性,位移臺(tái)移動(dòng)方式和理論吻合。
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